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風(fēng)淋室專題 佰倫風(fēng)淋室已榮獲多項(xiàng)國家專利! |
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半導(dǎo)體行業(yè)凈化解決方案
晶圓設(shè)備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營利潤。潔凈室的主要的問題是產(chǎn)品、工具、加工過程和氣味控制的污染。
傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車間的整個(gè)天花板上布滿高效過濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今我公司生產(chǎn)的FFU 使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置，解決了繁復(fù)的安裝和性價(jià)比問題，是目前市場上一種安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組，為潔凈室輸送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。
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污染物 |
來源 |
引發(fā)問題 |
解決方案 |
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粉塵 |
空氣 |
造成集成電路斷路、短路，影響成品率 |
化學(xué)過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU |
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NH3，NMP |
外氣 |
“T-top“現(xiàn)象 |
化學(xué)過濾模塊 |
部分成交客戶
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